OTSUKA廣州代理OTSUKA 光譜橢偏儀 FE-5000S 大塚電子
OTSUKA大塚電子廣州代理，OTSUKA廣州代理，.，OTSUKA大塚電子廣州代理 光譜橢偏儀 FE-5000S 日本OTSUKA大塚電子光譜橢偏儀FE-5000日本OTSUKA大塚電子光譜橢偏儀FE-5000日本OTSUKA大塚電子光譜橢偏儀FE-5000日本OTSUKA大塚電子光譜橢偏儀FE-5000日本OTSUKA大塚電子光譜橢偏儀FE-5000日本OTSUKA大
- 型號：
光譜橢偏儀 FE-5000S 日本OTSUKA大塚電子光譜橢偏儀FE-5000日本OTSUKA大塚電子光譜橢偏儀FE-5000日本OTSUKA大塚電子光譜橢偏儀FE-5000日本OTSUKA大塚電子光譜橢偏儀FE-5000日本OTSUKA大塚電子光譜橢偏儀FE-5000日本OTSUKA大塚電子
特 長
紫外可視（250～800nm）の波長領域でのエリプソパラメータ測定が可能 ナノメータオーダーの多層薄膜の膜厚解析が可能 400ch以上のマルチチャンネル分光法によるエリプソスペクトルの迅速測定が可能 反射角度可変測定により、薄膜の詳細な解析に対応 光學定數のデータベース化およびレシピ登録機能の追加により操作性がアップ 層膜フィッティング解析による光學定數測定による膜厚?膜質管理が可能
測定項目
エリプソパラメータ（tanψ、cosΔ）測定 光學定數 ( n ： 屈折率 , k ： 消衰係數 ) 解析 膜厚解析
用 途
半導體ウェハー
ゲート酸化薄膜，窒化膜
SiO 2 ，Si x O y ，SiN，SiON，SiN x ，Al 2 O 3 ，SiN x O y ，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN
レジストの光學定數(波長分散) 化合物半導體
Al x Ga (1-x) As 多層膜，アモルファスシリコン FPD
配向膜
プラズマディスプレイ用ITO，MgOなど 各種新素材
DLC(Diamond Like Carbon)，超伝導用薄膜，磁気ヘッド薄膜 光學薄膜
TiO 2 ，SiO 2 ，多層膜，反射防止膜，反射膜 リソグラフィー分野
g線(436nm)，h線(405nm)，i線(365nm)，KrF(248nm)などの各波長におけるn，k評価
原 理 試料にs波とp波を含む直線偏光を入射し、その反射光の楕円偏光を測定します。s波とp波は位相と振幅が獨立に変化して、試料に依存した2種類の偏光の変換パラメータであるp波とs波の反射率の比tanψおよび位相差Δが得られます。
仕 様
型式 FE-5000S FE-5000 測定サンプル 反射測定サンプル サンプルサイズ 100x100mm 200x200mm 測定方式 回転検光子法 *1 測定膜厚範囲(nd) 0.1nm～ 入射（反射）角度範囲 45～90° 45～90° 入射（反射）角度駆動方式 自動サインバー駆動方式 入射スポット徑 *2 約φ2.0 約φ1.2sup *3 tanψ測定正確さ ±0.01以下 cosΔ測定正確さ ±0.01以下 膜厚の繰り返し再現性 0.01%以下 *4 測定波長範囲 *5 250～800nm 300～800nm 分光検出器 ポリクロメータ（PDA、CCD） 測定用光源 高安定キセノンランプ *6 ステージ駆動方式 手動 手動/自動 ローダ対応 不可 可 寸法、重量 650（W)×400（D)×560（H）mm
約50kg 1300（W)×900（D)×1750（H）mm
約24kg *7 ソフトウェア 解析 最小二乗薄膜解析（屈折率モデル関數、Cauchy分散式モデル式、nk-Cauchy分散式モデル解析など）
理論式解析（バルク表面nk解析、角度依存同時解析）
*1 偏光子駆動可能、不感帯に有効な位相差板著脫可能です。
*2 短軸?角度により異なります。
*3 微小スポット対応（オプション）
*4 VLSIスタンダードSiO2膜（100nm）を用いた場合の値です。
*5 この波長範囲內で選択可能です。
*6 測定波長により光源が異なります。
*7 自動ステージ選択時の値です。
.
.
.
.
.
網址：www.jumpc.cn 或www.fujino.net.cn
本司代理優勢品牌：(歡迎來電詢價)
SOLAX/SERIC索納克斯，FUNATECH船越龍，DSK電通產業，HIKARIYA光屋，ORIHARA折原
IIJIMA飯島電子，EXCEL聽音機 ，NDK日本電色，ORC歐阿希，HOYA豪雅，TSUBOSAKA壺板，TOPCON拓普康，ONOSOKKI小野，AND艾安德，TANDD天特，TOKISANSYO東機產業，KYOWA共和，TEITSU帝通電子，MCRL村上，KONICA MINOLTA柯尼卡美能達，IMV艾目微，EMIC愛美克，KANETEC強力，HODAKA穗高，SOTEC索泰科，CITIZEN西鐵城，OJIDEN大阪
，TECH-MO盛岡，SANEI三榮電機 ，OKANO岡野，SUGAWARA菅原，MITUTOYO三豐，RIKEN理研，KETT凱特
科學儀器：
SANSYO三商，TGK東京硝子，TOYOLING東洋，SIBATA柴田科學，LUCEO魯機歐，TGK東京硝子，HEIDON新東，KOKUSAN科庫森，NITTOKAGAKU日陶科學，ITOH伊藤，NIKKATO 日陶，KIRIYAMA桐山，KUSANO草野科學，NISSINRIKA日伸理化，NS恩艾斯
傳感器
KYOWA共和，METROL美德龍，OMRON歐姆龍，FUJI富士，OPTEX光電，KEYENCE基恩士
TAKEX竹中，SUGIDEN/SUGIYAMA杉山電機，GS吉艾斯，TAKASAGO高砂，MATSUNAGA松永，HISHIKO菱小，AIRTECH空氣科技，YAMABISHI山菱
OTSUKA大塚電子廣州代理，OTSUKA廣州代理，.，OTSUKA大塚電子廣州代理
藤野貿易（廣州）有限公司-主營FA自動化、膠粘材料、油脂材料、機械設備、精密儀器、物流搬運，工具等產品
藤野貿易（廣州）有限公司-主營FA自動化、膠粘材料、油脂材料、機械設備、精密儀器、物流搬運，工具等產品
藤野貿易（廣州）有限公司-主營FA自動化、膠粘材料、油脂材料、機械設備、精密儀器、物流搬運，工具等產品