日本原裝 HORIBA 堀場 HD-960L 溶解氧計 簡單校準功能
2024-12-03 17:00:06
fujino
半導體用面板支架48/96系列
HD-960L
0-20mg/L
※低流量模型（排出藥液時）
HD-960LR
0-20mg/L
※高流量模型（使藥液循環時）
HF中DO監控/純水中DO監控
HD-960L
是最適合WET過程中HF中溶解氧的濃度監視的低流量的溶解氧計。
對于從低濃度到高濃度的溶解氧濃度，始終搭載以最佳范圍/分辨率測量對應的范圍切換功能，對應每個過程的最佳測量要求。
特征
自動切換范圍
自動切換從ug/L等級到mg/L等級的3個測量范圍，使最佳分辨率測量成為可能。
支持少量樣品測量
可以以最小15ml/min的流量進行測量對應。
簡單校準功能
具有電零校準、氣體零跨度校準功能。
規格
| 模型 | HD-960L | |
|---|---|---|
| 測量范圍 重復性 | 測量范圍 | 重復性 |
| 0.0～200.0微克/升 | +/-1%FS | |
| 200 - 2000微克/升 | +/-1%FS | |
| 2.00 - 20.00毫克/升 | +/-1%FS | |
| 供應樣水條件 | 壓力 | 0-0.1MPa |
| 流量 | 15 - 200 毫升/分鐘。* | |
| 溫度（溫度補償范圍） | 10 - 45℃ | |
| 樣品中的 HF 濃度 | 0 - 5000ppm | |
| 接點輸出 | 4分 | |
| 聯合傳感器單元 | DO-100 | |
| 聯合傳感器 | 5600 | |
| 采樣管線管徑 | Φ1/4英寸（PFA管延長件） | |
*測量結束后，應將樣液連接至排放管并丟棄。